Xiamen Compound Semiconductor Wafers製>

SiCウェハ

Siと比べてバンドギャップが優れた6H-SiC,4H-SiCをご提供いたします。パワーデバイス作成には4HSiCが有用です。

SiCウェハ物理特性

タイプ 4H 6H
格子定数 a=3.076Å
c=10.053Å
a=3.073Å
c=15.117Å
スタッキングシーケンス ABCB ABCACB
バンドギャップ(eV) 3.26 3.03
密度(kg.m³) 3.21^10³ 3.21^10³
熱膨張係数(K) 4~5x10⁻⁶ 4~5x10⁻⁶
熱伝導率(W/mK) 490 490
屈折率 no=2.719
ne=2.777
no=2.707
ne=2.755
誘電率 9.6 9.66
絶縁破壊電解強度(V/m) 2~4^10⁸ 2~4^10⁸
飽和ドリフト速度(m/s) 20^10⁵ 20^10⁵
電子移動速度(V.S) 800cm² 400cm²
ホール移動速度(V.S) 115cm² 90cm²
モース硬度 ~9 ~9


6H-Nタイプ2"SiC仕様

グレード 量産
リサーチ
ダミー
ポリタイプ 6H
直径(mm) 50.8±0.38
厚さ(um) 250/330/430
キャリアタイプ N
ドーパント 窒素
比抵抗(Ω/cm) 0.02~0.1
表面粗さ <0.5nm(Si面CMP研磨)
<1nm(C面光学研磨)
FWHM(arcsec) 量産:<30
リサーチ/ダミー:<50
マイクロ欠陥密度(cm⁻²) 量産:≦1,≦10
リサーチ: ≦30,≦50
ダミー:≦100*
面方位 <0001>±0.5°
OFF軸 3.5°向け<11-20>±0.5°
プライマリーフラット <1-100>±5°
プライマリーフラット長(mm) 16±1.7
セカンダリーフラット Si面90°
C面90°
セカンダリーフラット長(mm) 8±1.7
表面仕上げ 片面or両面研磨
有効径 中心から90%
  • 数値は選択可能です。

2"4H-SiC 半絶縁体orNタイプ仕様

グレード 量産
リサーチ
ダミー
ポリタイプ 4H
直径(mm) 50.8±0.38
厚さ(um) 250/330/430
キャリアタイプ N or 半絶縁体
ドーパント 窒素(Nタイプのみ)
比抵抗(Ω/cm) 半絶縁体:>1E5
Nタイプ:0.012~0.0028
表面粗さ <0.5nm(Si面CMP研磨)
<1nm(C面光学研磨)
FWHM(arcsec) 量産:<30
リサーチ/ダミー:<50
マイクロ欠陥密度(cm⁻²) 量産:≦1⁻²,≦10
リサーチ:≦30,≦50
ダミー:≦100*
面方位 <0001>±0.5°
OFF軸 3.5°向け<11-20>±0.5°
プライマリーフラット <1-100>±5°
プライマリーフラット長(mm) 16±1.7
セカンダリーフラット Si面90°
C面90°
セカンダリーフラット長(mm) 8±1.7
表面仕上げ 片面or両面研磨
有効径 中心から90%
  • 数値は選択可能です。
  • 高純度半絶縁体HPSi)4H-SiCもございます。
  • 5x5mm,10x10mmなどチップ加工も可能です。厚みは330um,430umから選べます。

3"4H-SiC 半絶縁体orNタイプ仕様

グレード 量産
リサーチ
ダミー
ポリタイプ 4H
直径(mm) 76.2±0.38
厚さ(um) 350/430±25um
キャリアタイプ N or 半絶縁体
ドーパント Nタイプ:窒素
半絶縁体:V
比抵抗(Ω/cm) 半絶縁体:>1E5
Nタイプ:0.015~0.028
表面粗さ <0.5nm(Si面CMP研磨)
<1nm(C面光学研磨)
FWHM(arcsec) 量産: <30
リサーチ/ダミー: <50
マイクロ欠陥密度(cm⁻²) 量産: ≦1,≦10cm⁻²
リサーチ: ≦30,≦50
ダミー: ≦100*
面方位 <0001>±0.5°
OFF軸 4°又は8°向け<11-20>±0.5°
プライマリーフラット Nタイプ:<1-100>±5°
>半絶縁体:<11-20>±5°
プライマリーフラット長(mm) 22.22±3.17
セカンダリーフラット Si面90°
C面90°
セカンダリーフラット長 11±1.7mm
表面仕上げ 片面or両面研磨
有効径 中心から90%
  • 数値は選択可能です。
  • 高純度半絶縁体HPSi)4H-SiCもございます。
  • 5x5mm,10x10mmなどチップ加工も可能です。厚みは330um,430umから選べます。

御見積

光学用途又は半導体用途によって、適した御見積をします。
光学:サイズ、面方位、研磨、コーティングの有無
半導体:サイズ・厚み、面方位、導電型、抵抗率、キャリア濃度、数量
以上を下記お問合せフォームよりお問合せください。
不明な点及び標準規格をご要望の場合は指定なしでお知らせください。
25枚ロットが基本ですが、ロット割れ販売も可能な場合がございます。

  Homeに戻る