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エピタキシャルウェハ基板

サファイア,GaN,GaAs,InP基板を中心にAl,In,As,Pなど、
さまざまなⅢ-Ⅴ族エピウェハーを扱っています。
特定のエピ層構造がありましたら、詳細な層をお知らせください。
特定層にもよりますが、1枚からご提供いたします。


LD,LED向けサファイア基板GaN

育成法 MOCVD
直径 φ50.8mm
サファイア基板厚さ 430um
GaN膜厚さ 0.2~um

サファイア基板AlN

導電型 半絶縁体
直径 φ50.8mm
AlN膜層厚さ 1um±10%
面方位 C軸(0001)±1°
表面仕上げ 無し

サファイア基板InGaN

ドーパント In
直径 φ50.8mm
InGaN膜層厚さ 100~200um
面方位 C軸(0001)±1°
転位密度 >108cm⁻²
表面仕上げ 片面または両面エピレディ研磨

サファイア基板AlGaN

直径 φ50.8mm
導電型 半絶縁体
AlGaN膜層厚さ 1um±10%
面方位 C面
オリフラ A面
XRD FWHM <200 arcsec
有効範囲 >90%
表面仕上げ 無し

THz検出向けGaAs基板LT-GaAs

直径 φ50.8mm
厚さ 1~3um
マイクロ欠陥密度 ≦5cm⁻²
抵抗値(300K) >10⁸ohm-cm
キャリア濃度 <0.5ps
転位密度 <1x10⁶cm⁻²
有効表面範囲 90%

PIN向けInP基板InGaAs

直径 φ50.8mm
InP基板面方位 (100)
ドーパント Fe (半絶縁体)
抵抗値(300K) >1x10^⁷ohm.cm
EPD <1x10^⁴/cm^²
エピタキシャル層
In(x)Ga1-(x)As
キャリア濃度 Nc>2x10^¹⁸(Siドープ)
InGaAs膜厚 500nm±20%
エピ面粗さ Ra<0.5nm

1.55umQWレーザー向け
InP基板InGaAsP/InGaAs

成長法 MOCVD
直径 φ50.8mm
主基板 SドープInP
膜層 InGaAsP/InGaAs
PL波長 1500±3~5nm
歪み -1.0±0.1%
エピタキシャル層数 8~20
総膜層厚さ 1.0~3.0um
エピタキシャル層
1層(最下層) n-InPバッファ層:膜厚1um,2E18/cm⁻³
2層 1.15Q-InGaAsP導波路,ドープ無し膜厚80nm
3層 1.24Q-InGaAsP導波路,ドープ無し膜厚70nm
4層 a=4xInGaAsP QW+1%,膜厚:5nm
b=5xInGaAsP保護,膜厚:10nm, PL/1550nm
5層 1.24Q-InGaAsP導波路,ドープ無し膜厚70nm
6層 1.15Q-InGaAsP導波路,ドープ無し膜厚80nm
7層 InP,膜厚:ドープ無し20um
8層 InP,5E17,膜厚:100nm
9層 InP,1.5E18,膜厚:1200nm
10層(最上層) InGaAs,2E19,膜厚:100nm

GaAs基板AlAs

直径 φ50.8mm
主基板 GaAs
基板厚さ 350um
導電型(選択可) N又はP(半絶縁体)
キャリア濃度 >E18Ω.cm(導電型に関わらず)
膜層 GaAsとAlAs
エピタキシャル層
1層(最下層) n-InPバッファ層:膜厚1um,2E18/cm⁻³
2層 1.15Q-InGaAsP導波路,ドープ無し膜厚80nm
3層 1.24Q-InGaAsP導波路,ドープ無し膜厚70nm

InP基板InGaAs/InP

直径 φ50.8mm
主基板 InP
基板厚さ 350±25um
ドーパント S
導電型 N
面方位 (100)±0.5°
EDP <1E4/cm²
表面仕上げ 片面研磨、裏面エッチド SEMI準拠
エピタキシャル1層目-InGaAs
面方位 (100)
膜厚 100nm,エッチングストップ
エピタキシャル2層目-InP
面方位 (100)
膜厚 50um

GaN基板InGaAs/InP

直径 φ50.8mm
ドーパント S
導電型 N
主基板 GaN
面方位 (100)±0.5°
GaN基板厚さ 350um
EDP <1E4/cm²
エピタキシャル1層目-InGaAs
面方位 (100)
膜厚 100nm,エッチングストップ
エピタキシャル2層目-InP
面方位 (100)
膜厚 50um
  • その他様々なエピタキシャルウェハーを取り扱っております。
  • 仕様などについては上記は参考です。特定したい層、ご不明点はお問合せ下さい。

御見積

光学用途又は半導体用途によって、適した御見積をします。
光学:サイズ、面方位、研磨、コーティングの有無
半導体:サイズ・厚み、面方位、導電型、抵抗率、キャリア濃度、膜厚、数量
以上を下記お問合せフォームよりお問合せください。
不明な点及び標準規格をご要望の場合は指定なしでお知らせください。

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