株式会社山寿セラミックス製の表面が黒いブラックニオブ酸リチウム（以下Black-LN）と
ブラックタンタル酸リチウム（以下Black-LT）ウェハを取り扱っております。

ノーマルなLiNbO3単結晶と比べて焦電性が抑制改善され、温度変化に対する静電気チャージによる 素子破壊が起きないことが特徴となります。こうした還元処理をされたLNとLTは本来の色から黒色に変わるのでBlack-LN,Black-LTと呼ばれ, 次世代SAW素子として、素子の小型化、生産性の向上が期待できます。
LNとLTはSiと比べて脆く、強度を上げるためにFe(鉄)を添加させて強度を上昇させたYellow-Black-LN (黄緑色)というウェハもございます。

LiTaO3ウェハー比較表

	一般タイプ LiTaO3	スタンダード Black-LT	スーパー Black-LT
バルク抵抗率 [ Ω.cm ]	4.50E+14	2.30E+11	2.10E+10
バルク伝導率 [ Ω-1.cm-1 ]	2.22E-15	4.35E-12	4.76E-11
表面電位/Φ100mm [ kV ]＊	4.12	< 0.35	< 0.08
電荷中和 [ sec ]	∞	3.5	1.5
圧電歪定数 [C/cm²]	-	e15：2.63 e22：1.84 e31：-0.11 e33：1.93	-
透過率 （365nmにおいて）[ % ]	72	65	< 60
色	透明	グレー	ダークグレー

＊表面電位条件：4"LT,Y-cut 42°,T0.35mm、室温95℃

LiNbO3ウェハー比較表

	一般タイプ LiNbO3	スタンダード Black-LT
バルク抵抗率 [ Ω.cm ]	3.80E+14	2.40E+10
バルク伝導率 [ Ω-1.cm-1 ]	2.63E-15	4.17E-11
表面電位/Φ100mm [ kV ]＊	3.05	< 0.05
電荷中和 [ sec ]	∞	1.5
透過率 （365nmにおいて） [ % ]	73	60
色	透明	ダークグレー

LT&LNウェハー SAWプロパティ

	LT	Black-LT	LN	Black-LN
キュリー温度 [ ℃ ]	602.5±2	602.5±2	1132±2	1132±2
SAW物理速度	4022	非荷電	3980	非荷電
カップリング コヒーレント [ K2 ]	7.6	非荷電	5.5	非荷電

LiTaO3ウェハー標準スペック

面方位	直径	厚さ	ウェハー表面
36°Y 39°Y 42°Y 46°Y 48°Y X-cut	76.2mm 100.0mm	0.25mm 0.35mm 0.50mm	ミラー研磨 GC#1000 GC#1200 GC#2500

LiNbO3ウェハー標準スペック

面方位	直径	厚さ	ウェハー表面
41°Y 64°Y 127.862°Y	76.2mm 100.0mm	0.25mm 0.35mm 0.50mm	ミラー研磨 GC#1000 GC#1200 GC#2500

形状を3x3mmなどのチップ型、Φ20mmの丸型など色々なサイズへの加工対応もしております。

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