Piezoelectric(圧電結晶)>

Black-LN,Black-LTウェハー

株式会社山寿セラミックス製の表面が黒いブラックニオブ酸リチウム(以下Black-LN)と
タンタル酸リチウム(以下Black-LT)ウェハーを取り扱っております。

従来のLiNbO3と比べて焦電性が改善され、温度変化があっても静電気チャージによる
素子破壊が起きないことが特徴となります。次世代SAW素子として、素子の小型化、
生産性の向上が期待できます。

LiTaO3ウェハー比較表

一般タイプ
LiTaO3
スタンダード
Black-LT
スーパー
Black-LT
バルク抵抗率
[ Ω.cm ]
4.50E+14 2.30E+11 2.10E+10
バルク伝導率
[ Ω-1.cm-1 ]
2.22E-15 4.35E-12 4.76E-11
表面電位/Φ100mm
[ kV ]*
4.12 < 0.35 < 0.08
電荷中和
[ sec ]
3.5 1.5
透過率
(365nmにおいて)[ % ]
72 65 < 60
透明 グレー ダークグレー

*表面電位条件:4"LT,Y-cut 42°,T0.35mm、室温95℃

LiNbO3ウェハー比較表

一般タイプ
LiNbO3
スタンダード
Black-LT
バルク抵抗率
[ Ω.cm ]
3.80E+14 2.40E+10
バルク伝導率
[ Ω-1.cm-1 ]
2.63E-15 4.17E-11
表面電位/Φ100mm
[ kV ]*
3.05 < 0.05
電荷中和
[ sec ]
1.5
透過率
(365nmにおいて)
[ % ]
73 60
透明 ダークグレー

LT&LNウェハー SAWプロパティ

LT Black-LT LN Black-LN
キュリー温度
[ ℃ ]
602.5±2 602.5±2 1132±2 1132±2
SAW物理速度 4022 非荷電 3980 非荷電
カップリング
コヒーレント
[ K2 ]
7.6 非荷電 5.5 非荷電

LiTaO3ウェハー標準スペック

面方位 直径 厚さ ウェハー表面
  • 36°Y
  • 39°Y
  • 42°Y
  • 46°Y
  • 48°Y
  • X-cut
  • 76.2mm
  • 100.0mm
  • 0.25mm
  • 0.35mm
  • 0.50mm
  • ミラー研磨
  • GC#1000
  • GC#1200
  • GC#2500

LiNbO3ウェハー標準スペック

面方位 直径 厚さ ウェハー表面
  • 41°Y
  • 64°Y
  • 127.862°Y
  • 76.2mm
  • 100.0mm
  • 0.25mm
  • 0.35mm
  • 0.50mm
  • ミラー研磨
  • GC#1000
  • GC#1200
  • GC#2500

形状を3x3mmなどのチップ型、Φ20mmの丸型など色々なサイズへの加工対応もしております。

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